특허발명의 명칭 : 파티클 카운터용 외함 및 이를 구비한 초순수 생산 시스템

특허 출원일자 : 2018.05.30

특허 등록일자 : 2019.07.04

특허 등록번호 : 10-1998875

발명의 요지

본 발명의 일 실시예에 따른 초순수 생산 시스템은 순수(pure water)로부터 초순수(ultrapure water)를 생산하기 위한 초순수 생산 시스템으로서, 상기 시스템을 통해 생산된 초순수에 포함된 파티클의 개수를 검사하는 파티클 카운터; 및 상기 파티클 카운터를 내부에 수용하는 외함;을 포함한다.

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